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* Ihre Aktion  Suchen PER Ebert,Matthias
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 1.  Identification of mechanical defects in MEMS using dynamic measurements for application in production monitoring
/ Gerbach, Ronny. - Enthalten in: Microsystem technologies, Bd. 16 (2010), 7, S.1251-1257 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 2.  Abschlussbericht "Mess- und Prüftechnik für den Test von hybrid montierten Siliziummikrosystemen für die Automobil- und Medizintechnik" im Verbundprojekt MST-Hybrid : Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.01.2005 - 31.12.2007
/ Ebert, Matthias. - Halle (Saale), 2008 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 3.  Investigations of the influence of dicing techniques on the strength properties of thin silicon
/ Schoenfelder, Stephan. - Enthalten in: Microelectronics reliability, Bd. 47 (2007), 2/3, S.168-178 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 4.  Measurement of Dynamic Properties of MEMS and the Possibilities of Parameter Identification by Simulation
/ Ebert, Matthias. - Enthalten in: International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation Experiments in Microelectronics and Micro-Systems, 2007 (2007), S.1-6 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 5.  Influence of the thickness of silicon dies on strength
/ Schoenfelder, Stephan. - Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 6.  Fracture mechanical life-time investigation of glass frit-bonded mems sensors
/ Petzold, Matthias. - Enthalten in: IEEE Xplore digital library (2006), S.1343-1348 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 7.  Numerical Identification of Geometric Parameters from Dynamic Measurement of Grinded Membranes on Wafer Level
/ Ebert, Matthias. - Enthalten in: 7th International Conference on Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, 2006 (2006), S.1-6 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
Online Ressourcen (ohne Zeitschr.) 8.  Investigations of strength properties of ultra-thin silicon
/ Schoenfelder, Stephan. - Enthalten in: Proceedings of the 6th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, 2005, EuroSimE 2005 (2005), S.105-111 Dieser Titel besitzt einen Volltextverweis
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ebert,matthias [PER] Person (FE) 8
 
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